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LPC检测将无尘布的规范和步骤

来源:深圳科林姆 2020-08-05

在销售市场上,无尘布种类多种多样,且用途普遍,但价钱凹凸不平,顾客在购置无尘布时关键根据无尘布的材料、消化率等来评定无尘布特性和花费。

而在半导体芯片的净化室中对无尘布细颗粒物、正离子、ESD等有很高的规定。因此出示了一些评定无尘布的方式 。

无尘布需开展严苛检测以达到特性适合环境污染的标准,一般无尘布需开展下列检测:

1、耐磨损性检测

一般耐磨损性检测归属于面料物理特性的检测。但在无尘布的检测中,由于损坏的全过程会造成细颗粒物,因而,将无尘布的耐磨损性检测归入为环境污染操纵范畴。

检测规范:耐磨损性越强越不易造成细颗粒物。

2、重量

依据ASTM-D-3776检测无尘布企业总面积的净重

参照检测规范:一般规定在150-300g/㎡

3、吸水率和吸液速率

依据规定,需检测无尘布的摄取量和消化吸收速度,吸水率体现的是企业总面积的净化清洁布的消化吸收液體的ml数。吸液速度就是指无尘布消化吸收10ml液體需要的時间,之上2种精确测量都须精确测量三次并测算均值

参照检测规范:吸水率一般不小于400g/㎡

吸液速率一般不超一秒。

4、IC测试

依据规定,判定定量分析地精确测量无机物阴阳离子成分。

参照检测规范,在磁带机制造行业,一般规定CL-≤0.03ug/c㎡;SO42-≤0.03ug/c㎡;NO3-≤0.03ugc㎡;Total:<1.0ug/c㎡

5、NVR检测

依据IEST-RP-CC004.3第7.1节规定,检测企业总面积上的无挥发物残留。NVR检测是将无尘布侵泡于一定量的有机溶剂中在一定量的時间,随后将无尘布取下,检测溶解有机溶剂中的无挥发物残留的品质。

参照检测规范:在磁带机制造行业,一般规定<3.0ug/c㎡

6、LPC检测

依据IEST-RP-CC004.3第六.2.1节的规定,对无尘布开展LPC检测,及无尘布上的液体细颗粒物数。LPC检测是将无尘布侵泡在一定量的DI水里,历经超音波震荡,检验DI水里的细颗粒物浓度值。

参照检测规范:在磁带机制造行业,一般规定<30counts/c㎡

7、FTIR检测

傅立叶转变红外光谱分析检测

参照检测规范:一般不允许有甲基硅油、羟基化学物质、增粘剂。

8、GC检测

GC检测是用于剖析无尘布上有机化学空气污染物类型和成分的一种方式 。

参照检测规范:在磁带机制造行业,规定Total:<10ug


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